PEEK注塑零件:在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
特種工程塑料精密注塑加工成型的PEEK注塑零件在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用前景廣闊。通常用來制造CMP 研磨環(huán)、PEEK晶圓承載器、PEEK晶圓夾具,peek注塑件具有的耐熱性、耐磨性、耐疲勞性、耐輻照性、耐化學(xué)品性、尺寸穩(wěn)定等特性顯著優(yōu)異于其他特種工程塑料。
半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)在化學(xué)環(huán)境中常使用PEEK緊固件,因為試驗環(huán)境中有大量的氫氟酸,這是一種腐蝕性化學(xué)物質(zhì),對金屬有極強的破壞性,由peek注塑加工成型的peek螺絲可以有效解決這一問題。
peek注塑件的優(yōu)異特性:
1. 對有機物、酸和堿具有優(yōu)異的耐化學(xué)性
2. 超過 250℃ 時仍具有高的機械強度
3. 非常好的耐磨損性和耐磨性
4. 低的線性熱膨脹系數(shù)和高的極限PV特性
5. 同類最好的耐疲勞性
6. 優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性
7. 在沸水和過熱蒸汽中具有優(yōu)異的耐水解性
8. 具有優(yōu)異的介電特性,在高溫和高頻下的損耗低
9. 易于加工